Mahr轮廓度仪CX2-轮廓度仪-轮廓仪圆度仪-产品专区-苏州晋松计量仪器有限公司

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Mahr轮廓度仪CX2

德国原装工控机及Marwin轮廓操作评价软件
·CD120驱动器及测针系统
·ST500立柱
·X/Y二维微调工作台
·大理石工作台面
·MCP23控制面板
·磁吸测针系统，方便装夹，且可以实现防撞保护

测量原理测针接触式

测量长度 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)

测量范围 Z 方向 50mm适用于350mm测臂；25mm适用于175mm测臂

测量系统（Z方向）电感传感器*, 高精度, 高线性度

测针分辨率( Z 方向) 0.19 um /175mm测臂

系统分辨率（Z方向） 0.04 um

直线度误差（X方向）: < 1um/120mm

X/Z方向定位精度 1 um

测力 1mN to 120mN

测量角度下降角度到880, 上升角度为770

测量速度（X方向） 0.2mm/s...4mm/s

接触速度（Z方向） 0.1mm/s to 1 mm/s

定位及返回速度（X方向） 0.2 mm/s 至 8 mm/s

定位速度(Z方向) 0.2 mm/s 至 10 mm/s

驱动器可调角度 +/-45°

测臂长度 175 mm;350 mm

测针针尖半径 25 um

角度测量误差 U95<3.0min

半径测量误差 U95=±5 um R10mm-100mm
U95=±7um R100mm-1000mm
距离测量误差 ±(2+l/50)um

XC20工作站.png